Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.
Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.

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Integrated Planar 6-DOF Nanopositioning System

Stephan Gorges1. Steffen Hesse1. Christoph Schäffel1. I. Ortlepp2. E. Manske2. E. Langlotz2. D. Dontsov3.

2019 11th IFAC Symposium on Nonlinear Control Systems (NOLCOS 2019), 4 - 6 September 2019, Vienna, Austria , IFAC-PapersOnLine, Volume 52, Issue 15, 2019, Pages 313-318, ISSN 2405-8963, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2019.11.693.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.