Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.
Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.

Posterpräsentationen 2013-1997

Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung

Stefan Hampl1. Bianca Leistritz1. Benjamin Saft1. Eckhard Hennig1. Martin Hoffmann2.

Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, Aachen, 14.10.2013-16.10.2013.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau IMN MacroNano®, Fachgebiet Mikromechanische Systeme Ilmenau.

Networked Embedded Acoustic Processing System for Smart Building Applications

Sebastian Uziel1. Thomas Elste1. Wolfram Kattanek1. Danilo Hollosi2. Stephan Gerlach2. Stefan Goetze2.

Conference on Design & Architectures for Signal & Image Processing (DASIP), Cagliari, Italien, 08.10.2013-10.10.2013.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Fraunhofer Institute for Digital Media Technology IDMT.

Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung

Stefan Hampl1. Bianca Leistritz1. Benjamin Saft1. Eckhard Hennig1. Martin Hoffmann2.

Jahrestagung der Thüringer Forschergruppe, Technische Universität Ilmenau, 11.09.2013.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, IMN MacroNano®, Fachgebiet Mikromechanische Systeme Ilmenau.

Teilprojekt A5 - Nanopositioniersysteme großer Bewegungsbereiche

Steffen Hesse1.

Forschungsergebnisse 2002-2013, Abschlusspräsentation SFB 622 Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, Ilmenau, 29.05.2013.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

Schematic-Based Design of MEMS for Applications in Optics and Robotics

T. Maier1. D. Meisel1. Volker Boos3. Ralf Popp2.

edaWorkshop, Dresden, 14.05.2013-16.05.2013.

1Robert Bosch GmbH, Stuttgart. 2edacentrum GmbH, Hannover. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

Evaluierung von HF-CMOS-Modulen für Kommunikationssysteme mit flexibel konfigurierbaren Testsystemen (PXI)

Björn Bieske1. Klaus Heinrich2.

13. ITG/GMM-Fachtagung: Entwicklung von Analogschaltungen mit CAE-Methoden (Analog), Aachen, 04.03.2013-06.03.2013.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2X-FAB Semiconductor Foundries AG, Erfurt.

GreenSense - Grundlagentechnologien für ressourcen- und energieeffiziente intelligente Sensornetzwerke

Eckhard Hennig1.

Workshop Industrienahe Forschungsgruppen des TMWAT, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, 26.09.2012.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

Energieversorgungsoptionen für autarke multimodale Smart-Sensoren

Stefan Hampl1. Bianca Leistritz1. Eckhard Hennig1.

16. Heiligenstädter Kolloquium, Heilbad Heiligenstadt, 24.-26.09.2012.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

Magnetisch schwebender Direktantrieb zur nm-Positionierung

C. Schäffel1. Rainer Glöß2.

elmug4future. 26.6.-27.6.2012. Suhl.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.

Vernetzt, mobil, smart - Märkte der Zukunft

Wolfgang Sinn1.

Technologiekonferenz, elmug4future, Suhl, 26.06.2012-27.06.2012.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.