Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.
Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.

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Ansätze zur Entwicklung durchgängiger Entwurfsstrategien für MEMS

Jacek Nowak1. Jenny Klaus2. Dominik Karolewski2. Ralf Sommer1,2.

edaWorkshop 14, Hannover, 13.-14. Mai 2014, Tagungsband, VDE-Verlag, ISBN: 978-3-8007-3620-1.

1Technische Universität Ilmenau, Ilmenau. 2Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

Using WiCkeD in MEMS Design

Volker Boos1.

MunEDA User Group Meeting, München, 10.10.2013-11.10.2013.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

Schematic Driven MEMS Design

Ralf Sommer1.

edaWorkshop, Dresden, 14.05.2013-16.05.2013.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

Schematic-Based Design of MEMS for Applications in Optics and Robotics

T. Maier1. D. Meisel1. Volker Boos3. Ralf Popp2.

edaWorkshop, Dresden, 14.05.2013-16.05.2013.

1Robert Bosch GmbH, Stuttgart. 2edacentrum GmbH, Hannover. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

MEMS2015 - Schaltplan-basierter Entwurf von MEMS für Anwendungen in Optik und Robotik

Volker Boos1. Ralf Popp2. Mirco Meiners3. D. Meisel3. A. Müller4.

in Newsletter edacentrum, 01/2013.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2edacentrum GmbH Hannover. 3Robert Bosch GmbH Stuttgart. 4X-FAB Semiconductor Foundries AG Erfurt.