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Multi-Sensor Systems in Industrie 4.0 Applications, RoMulus – Robuste Multisensorik zur Zustandsüberwachung in Industrie-4.0-Anwendungen

Johannes Eisenmenger¹. S. Jäger². Volker Boos³. Eric Markweg⁴. A. Frotzscher⁵. Ralf Sommer⁶. Gerold Schröpfer⁷.

edaWorkshop 2017, 8-10 May 2017, Dresden.

¹Carl Zeiss SMT GmbH, Germany. ²microsensys GmbH, Germany. ³X-FAB Semiconductor Foundries AG, Germany, Erfurt. ⁴TETRA GmbH, Germany. ⁵Fraunhofer IIS, Germany. ⁶IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. ⁷Conventor.