Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.
Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.

6D planar magnetic levitation system - PIMag 6D

Christoph Schäffel1. Michael Katzschmann1. Hans-Ulrich Mohr1. Rainer Glöss2. Christian Rudolf2. Carolin Walenda2.

JSME Mechanical Engineering Journal, Vol. 3 (2016) No. 1 p. 15-00111, The Japan Society of Mechanical Engineers, DOI: doi.org/10.1299/mej.15-00111.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.