Presentation of research results at the ESSCIRC2014 conference in Venice. Photograph: IMMS.
Presentation of research results at the ESSCIRC2014 conference in Venice. Photograph: IMMS.

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Vergleich der Scan-Perfomance bei Nanopositioniersystemen mit großem Bewegungsbereich

Stephan Zschäck1. Steffen Hesse2. Avid Amthor1. Michael Katzschmann2. Christoph Schäffel2. Christoph Ament1.

tm – Technisches Messen, Oldenbourg Verlag, Band 81, Heft 6, Seiten 335 – 342, ISSN (Online) 2196-7113, ISSN (Print) 0171-8096, DOI: dx.doi.org/10.1515/teme-2014-0358, May 2014.

1Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Informatik und Automatisierung, Germany, Ilmenau. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

Positioning performance of a planar nanopositioning system with 100mm circular travel range

St. Hesse1. C. Schäffel1. M. Katzschmann1. H.-J. Büchner2.

27th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 2012, in Proceedings, ISBN 978-1-887706-61-2, p. 103-106.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ilmenau, Germany.

Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider

S. Hesse1. C. Schäffel1. H-U. Mohr1. H.-J. Büchner2.

Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-103:1.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.

Auf den Punkt gebracht - Nahezu reibungsfreies Nanopositioniersystem mit großem Verfahrbereich

S. Hesse1.

Erschienen in Antriebstechnik - Konstruktion, Entwicklung und Anwendung von Antrieben und Steuerungen, 11/2010.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.