Presentation of research results at the ESSCIRC2014 conference in Venice. Photograph: IMMS.
Presentation of research results at the ESSCIRC2014 conference in Venice. Photograph: IMMS.

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Hochpräzise positionieren – Integrierter 6-DOF-Direktantrieb bewegt Objekte nanometergenau im Raum

Christoph Schäffel1.

Konstruktion, Sonderteil Antriebstechnik, www.ingenieur.de/fachmedien/konstruktion/antriebstechnik/hochpraezise-positionieren/, 13. Oktober 2020.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.

Integrated Planar 6-DOF Nanopositioning System

Stephan Gorges1. Steffen Hesse1. Christoph Schäffel1. I. Ortlepp2. E. Manske2. E. Langlotz2. D. Dontsov3.

2019 11th IFAC Symposium on Nonlinear Control Systems (NOLCOS 2019), 4 - 6 September 2019, Vienna, Austria , IFAC-PapersOnLine, Volume 52, Issue 15, 2019, Pages 313-318, ISSN 2405-8963, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2019.11.693.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.

Design and Modeling Approach for a Lifting and Actuating Unit for the Application in Nano-Precision Machines

Stephan Gorges1. Steffen Hesse1.

33rd Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 2018, 4-9 November 2018, Las Vegas, Nevada, USA.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.

Development of an Integrated Guiding and Actuation Element for High Dynamic Nanopositioning Systems

Stephan Gorges1. Bianca Leistritz1. Steffen Hesse1. I. Ortlepp2. G. Slotta3. Christoph Schäffel1.

Ilmenau Scientific Colloquium 2017, Session 1.1 – Precision Measurement Technology, 11-15 September 2017, Ilmenau.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, TU Ilmenau. 3AeroLas GmbH.