IMMS: Scientific publications 2021

Nanopositioning and fabrication using the Nano Fabrication Machine with a positioning range up to ⊘100 mm

Jaqueline Stauffenberg¹. Christoph Reuter¹. Ingo Ortlepp¹. Mathias Holz². Denis Dontsov³. Christoph Schäffel⁴. Jens-Peter Zöllner¹. Ivo Rangelow¹. Steffen Strehle¹. Eberhard Manske¹.

Proc. SPIE 11610, Novel Patterning Technologies 2021, 1161016 (22 February 2021); DOI: doi.org/10.1117/12.2583703.

¹Technische Universität Ilmenau, Germany. ²nano analytik GmbH, Germany. ³SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. ⁴IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.

EXPerimentierfeld zur datengetRiebenen VErnetzung und DigitaliSierung in der LandwirtSchaft (EXPRESS)

Ingolf Römer¹. Martin Schieck¹. Hannes Mollenhauer². Rikard Graß². Silvia Krug³. Juliane Welz⁴. Valentin Knitsch⁴.

41. GIL-Jahrestagung, Informations- und Kommunikationstechnologien in kritischen Zeiten, 7. - 8. März 2021, online.

¹Universität Leipzig, Institut für Wirtschaftsinformatik, 04109 Leipzig, Germany. ²Helmholtz-Zentrum für Umweltforschung GmbH - UFZ, Department Monitoring- und Erkundungstechnologien, 04318 Leipzig,Germany. ³IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. ⁴Fraunhofer Zentrum für Internationales Management und Wissensökonomie IMW, 04109 Leipzig, Germany.

Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control

Alex S. Huaman¹. Michael Katzschmann¹. Steffen Hesse¹. Christoph Schäffel¹. Christoph Weise². Denis Dontsov³. Eberhard Manske². Johann Reger².

2021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), 7 - 9 March 2021, Kashiwa, Japan.

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. ²Technische Universität Ilmenau, Germany. ³SIOS Meßtechnik GmbH, Germany.

Terminalsystem 2.0: Neue, flexible Möglichkeiten der Kombination von PXI-Testerressourcen bis 1 GHz

Björn Bieske¹. Ludwig Kircher². Alexander Rolapp¹.

33. GI/GMM/ITG-Workshop Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen (TuZ 2021), 22. Februar 2021, online.

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. ²TU Ilmenau, Germany.

Realworld 3D Object Recognition Using a 3D Extension of the HOG Descriptor and a Depth Camera

Cristian Vilar¹. Silvia Krug^{1, 2}. Mattias O’Nils¹.

Sensors 2021, 21(3), 910. DOI: doi.org/10.3390/s21030910.

¹Department of Electronics Design, Mid Sweden University, Holmgatan 10, 851 70 Sundsvall, Sweden. ²IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.

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