Nanopositioning and fabrication using the Nano Fabrication Machine with a positioning range up to ⊘100 mm
Jaqueline Stauffenberg1. Christoph Reuter1. Ingo Ortlepp1. Mathias Holz2. Denis Dontsov3. Christoph Schäffel4. Jens-Peter Zöllner1. Ivo Rangelow1. Steffen Strehle1. Eberhard Manske1.
Proc. SPIE 11610, Novel Patterning Technologies 2021, 1161016 (22 February 2021); DOI: doi.org/10.1117/12.2583703.
1Technische Universität Ilmenau, Germany. 2nano analytik GmbH, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. 4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.