Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.
Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.

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Vergleich der Scan-Perfomance bei Nanopositioniersystemen mit großem Bewegungsbereich

Stephan Zschäck1. Steffen Hesse2. Avid Amthor1. Michael Katzschmann2. Christoph Schäffel2. Christoph Ament1.

tm – Technisches Messen, Oldenbourg Verlag, Band 81, Heft 6, Seiten 335 – 342, ISSN (Online) 2196-7113, ISSN (Print) 0171-8096, DOI: dx.doi.org/10.1515/teme-2014-0358, May 2014.

1Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Informatik und Automatisierung, Germany, Ilmenau. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.