Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.
Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.

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Testschaltung für MEMS-Inertialsensoren-Auswerte-ASIC

Roman Paris1. Peter Kornetzky1. Jenny Klaus1.

28. GMM/GI/ITG Workshop – Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen, TuZ 2016, 06.03.2016 - 08.03.2016, Siegen, Germany.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau.