Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.
Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.

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Schematic-Based Design of MEMS for Applications in Optics and Robotics

T. Maier1. D. Meisel1. Volker Boos3. Ralf Popp2.

edaWorkshop, Dresden, 14.05.2013-16.05.2013.

1Robert Bosch GmbH, Stuttgart. 2edacentrum GmbH, Hannover. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.