Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.
Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.

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Multi-Sensor Systems in Industrie 4.0 Applications, RoMulus – Robuste Multisensorik zur Zustandsüberwachung in Industrie-4.0-Anwendungen

Johannes Eisenmenger1. S. Jäger2. Volker Boos3. Eric Markweg4. A. Frotzscher5. Ralf Sommer6. Gerold Schröpfer7.

edaWorkshop 2017, 8-10 May 2017, Dresden.

1Carl Zeiss SMT GmbH, Germany. 2microsensys GmbH, Germany. 3X-FAB Semiconductor Foundries AG, Germany, Erfurt. 4TETRA GmbH, Germany. 5Fraunhofer IIS, Germany. 6IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. 7Conventor.