Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.
Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.

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Auf den Punkt gebracht - Nahezu reibungsfreies Nanopositioniersystem mit großem Verfahrbereich

S. Hesse1.

Erschienen in Antriebstechnik - Konstruktion, Entwicklung und Anwendung von Antrieben und Steuerungen, 11/2010.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.