Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.
Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.

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Ansätze zur Entwicklung durchgängiger Entwurfsstrategien für MEMS

Jacek Nowak1. Jenny Klaus2. Dominik Karolewski2. Ralf Sommer1,2.

edaWorkshop 14, Hannover, 13.-14. Mai 2014, Tagungsband, VDE-Verlag, ISBN: 978-3-8007-3620-1.

1Technische Universität Ilmenau, Ilmenau. 2Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.