Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.
Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.

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A contribution towards model-based design of application-specific MEMS

Jenny Klaus1. Eric Schäfer1. Roman Paris1. Astrid Frank1. Ralf Sommer1.

Integration, the VLSI Journal, Available online 9 April 2017, ISSN 0167-9260, doi.org/10.1016/j.vlsi.2017.03.014, www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016792601730192X, INTEGRATION the VLSI journal 58 (2017) 454-462.

1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany.