Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.
Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.

wissenschafliche Publikationen – Alle Jahrgänge

  • Suche

6D Magnetic Levitation Positioning System with Compact Integrated 6D Sensor

C. Rudolf1. C. Mock1. C. Walenda1. R. Glöss1. R. Liang1. C. Schäffel2. M. Katzschmann2. H.-U. Mohr2.

12th EUSPEN International Conference, 2012, in Proceedings P7.04 Vol II, ISBN 978-0-9566790-0-0.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Physik instrumente Karlsruhe Germany.