Testlabor für MEMS-basierte Mikrosysteme. Foto: IMMS.
Testlabor für MEMS-basierte Mikrosysteme. Foto: IMMS.

Ausstattung

Um unsere Partner dauerhaft mit elektronischen Systemlösungen auf dem neuesten Stand der Technik zu unterstützen, erschließen wir zum einen kontinuierlich neue Fertigungstechnologien und Partnerschaften für unsere F&E-Arbeiten. Zum anderen erweitern wir permanent unsere technische Labor- und Geräteinfrastruktur, um im internationalen wissenschaftlichen Wettbewerbsumfeld konkurrenzfähig bleiben zu können.

Das IMMS verfügt über eine umfangreiche Ausstattung für den Entwurf, die Charakterisierung und den Test der am Institut entwickelten Systeme bzw. für Testdienstleistungen. Das Spektrum deckt dabei die unterschiedlichen Systemebenen ab – begonnen bei Materialparametern, vom Transistor über Baugruppe bis hin zu komplexen Applikationen. 

Infrastruktur für Sensorsysteme und ASIC-Entwicklungen

  • leistungsfähige Design- und Simulationswerkzeuge wie MATLAB/Simulink™, Cadence-/Coventor-Tools, SystemC u.a.
  • Reinraum-Messtechniklabor: 120 m² Laborfläche nach DIN EN ISO 14644-1, Klasse 7
  • Wafer-Prober für 200 mm und 300 mm Wafer-Durchmesser
  • Hochtemperaturmesstechnik (bis 300 °C on wafer / bis 350 °C on device)
  • HF-Messtechnik (bis 50 GHz / Rauschen bis 26 GHz / integrierte Systeme bis 6 GHz)
  • Applikationsspezifisch konfigurierte Modulare PXI-Testsysteme als Plattform für Parameter- und Mixed-Signal-Messungen
  • Messtechnik für Optoelektronik (Wafer-Prober mit optischer Stimulierung und optische Bank, Laser mit Wellenlängen 405/635/785/844 nm)
  • Leistungselektronik (Kennlinienschreiber 400 A, gepulst/30 V; SMU 1100 V)

Infrastruktur für Aktorsysteme

  • Umfangreiche Entwurfssoftware wie MATLAB/Simulink, ANSYS, Maxwell und leistungsfähige Rechentechnik
  • Interferometrische und kapazitive Weg- und Winkelmesstechnik
  • Messtechnik für magnetische Größen
  • Schwingungs- und Analysemesstechnik
  • präzise Temperiertechnik, Temperaturmesstechnik, Thermographie
  • Vakuumkammern für Experimentalaufbauten 

Infrastruktur für MEMS

  • umfangreiche Entwurfssoftware (Cadence- und Coventor-Tools sowie IMMS-eigene Designwerkzeuge für MEMS-Design und -Simulation)
  • vibrometrische Messtechnik zur Charakterisierung mit Geometrie- und Materialparametern von MEMS-Devices: Polytec UHF120 und CLV-2534
  • Equipment zur Schwingungsanregung von MEMS Devices: HV-Verstärker für kapazitive Anregung, Manipulatoren für Probenpositionierung etc.
  • FEM-Tools zur parametrischen Modellierung der MEMS 

Infrastruktur für Signalverarbeitung, Kommunikation & Systemintegration

  • MATLAB und Xilinx System Generator
  • Cadence Entwurfs- und Simulationstools u.a. Standard-Entwurfswerkzeuge
  • Altium Designer
  • Umfangreiche Messtechnik für drahtlose Kommunikation
  • Klimakammer

Infrastruktur für Steuerungen und Regelungen

  • leistungsfähige Tools wie MATLAB/Simulink™, ANSYS™, MAXWELL™
  • Entwicklungsumgebungen für industrielle Steuerungen wie B&R, Beckhoff
  • Rapid Prototyping Systeme, wie dSpace, für schnelle Erstinbetriebnahme

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