Testentwicklung von photo detecting integrated circuits (PDICs)
- Prinzipielle Messanordnung zur optischen Charakterisierung am Waferprober
On-Wafer-Charakterisierung optoelektronischer Bauelemente
- hohe örtliche Auflösung durch sehr feinen Laserspot
- exakte Positionierung des Spots relativ zum Messobjekt
- Scanmessungen zur Verifikation von Ortsabhängigkeiten
Untersuchung der Empfindlichkeitsverteilung an einem Fotodiodenarray
- Addition der Empfindlichkeitsverteilung zweier Fotodioden
- Fokusdioden eines PDICs
