Laborausstattung
Besondere Messumgebung
- HF-geschirmte Messzelle (Schirmdämpfung 100 dB bis 26 GHz )
Wafer - Messtechnik
- Semiautomatische Waferprober Süss PA200 mit Thermochuck ( -60°C .. 200°C )
- Manueller Waferprober Süss PM8 mit Thermochuck ( 0°C .. 150 °C)
- Manueller Waferprober Summit 9000
HF - Messtechnik
- Networkanalyzer HP8510C
- S Parameter Testset HP8517B (45MHz ... 50GHz)
- Networkanalyzer E5071B (300 kHz...8,5 GHz)
- Synthesizer HP83651A
- Noise Figure Meter HP8970B/8971C
- Rauschmeßsystem NP5 (ATN Microwave Inc.)
- Spectrum Analyzer E4404B (9kHz...6.7GHz)
- Spectrum Analyzer FSU26 ( 20 Hz... 26 GHz)
- Signalgenerator E4432B (250kHz...3GHz)
- Signalgenerator SML03 ( 9kHz...3,3 GHz)
- Power Meter HP437B
- DC-Analyzer HP4142
- 4-Kanal Real-time- Oszilloskop SDA9000 ( 9 GHz )
- ACP Probes ACP40 und 50 mit 50, 100, 150 und 200 µm Pitchabstand
Parametermesstechnik
- Multimeter K2000
- Sourcemeter K2400
- Dual-Sourcemeter K2602
- pA - Meter HP4140B
- RLC-Meter HP4284A (Meßfrequenz 20Hz...1MHz)
- Parameteranalyser 4157A
- Switchmatrix 5250A
Digital- und Mixed-Signal - Messtechnik
- Evaluierungstestsysteme HP82000 (100 / 200 MHz, 72 bis 120 Testerkanäle)
- Logikanalysatoren 1670G
- Audio Analyzer UPD (2 Hz .. 300 kHz)
- Signalgeneratoren 33220A und 33250A (20 MHz und 80 MHz)
- Gain Phase Analyzer HP4194A (100Hz...40MHz)
- Solartron Impedance Gain Phase Analyzer SI1260 (µHz...30MHz)
- Oszilloskope 54622D und 56642A
Messtechnik für Optoelektronik
- Semiautomatischer Waferprober Süss PA200 mit Kreuztisch für opt. Stimulierung
- Optische Bänke mit Zubehör
- Lasermodulator MDL 300 ( bis 2 GHz)
- Laser, Wellenlängen 405nm, 635nm, 785nm, 844nm
- Powermeter Q8221
- Bitfehlerratenmessgerät MP3216
- 4-Kanal Real-time - Oszilloskop Wavepro 7300 ( 3 GHz ) mit opt. Konvertern
Temperaturmesstechnik
- Thermostream TP4300 ( -60°C .. 210°C)
- Thermoschrank Binder ( 25°C .. 350°C)