Charakterisierung von integrierten Fotodioden
Parameter von integrierten Fotodioden
- Empfindlichkeit
- Empfindlichkeitsverteilung
- Rand- und Flächenkapazität
- Übertragungsbandbreite
- Transientes Verhalten
- CV-Charakteristik

- Untersuchungen On-Wafer
Bestimmung der -3dB Bandbreite bei verschiedener Lasten und Wellenlängen

- Testboard

- Verlauf der Bandbreite bei wachsender Sperrspannung einer Fotodiode